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詳細摘要： 離子體增強型化學(xué)氣相沉積設(shè)備1、產(chǎn)品用途 本設(shè)備在硅片或光學(xué)玻璃等沉底材料上沉積半導(dǎo)體薄膜材料，可用于SiOx、 SiNx、 SiONx、a-Si、石墨烯等材料...